Χημική εναπόθεση μικροκρυσταλλικού πυριτίου σε αντιδραστήρες πλάσματος: μηχανισμοί θέρμανσης ηλεκτρονίων και εναλλακτικές τεχνικές αύξησης ρυθμού εναπόθεσης

Όλα τα τεκμήρια στο ΕΑΔΔ προστατεύονται από πνευματικά δικαιώματα.

DOI
10.12681/eadd/14289
Διεύθυνση Handle
http://hdl.handle.net/10442/hedi/14289
ND
14289
Εναλλακτικός τίτλος
Chemical deposition of microcrystalline silicon in a plasma reactor: electron heating mechanisms and alternative methods for the deposition rate enhancement
Συγγραφέας
Hammad, Ahmad (Father's name: Daoud)
Ημερομηνία
2004
Ίδρυμα
Πανεπιστήμιο Πατρών. Σχολή Πολυτεχνική. Τμήμα Χημικών Μηχανικών
Εξεταστική επιτροπή
Ραπακούλιας Δημήτριος
Ματάρας Δημήτριος
Γιαννούλης Παναγιώτης
Μακιός Βασίλειος
Αγγελόπουλος Γεώργιος
Μπεμπέλης Συμεών
Κονταρίδης Δημήτριος
Επιστημονικό πεδίο
Επιστήμες Μηχανικού και Τεχνολογία
Επιστήμη Χημικού Μηχανικού
Λέξεις-κλειδιά
Πλάσμα; Χημική εναπόθεση; Μικροκρυσταλλικό πυρίτιο; Σιλάνιο; Δισιλάνιο; Ηλεκτρική εκκένωση; Διπλή στοιβάδα; Λεπτά υμένια πυριτίου
Χώρα
Ελλάδα
Γλώσσα
Ελληνικά
Άλλα στοιχεία
212 σ., εικ.
Στατιστικά χρήσης
ΠΡΟΒΟΛΕΣ
Αφορά στις μοναδικές επισκέψεις της διδακτορικής διατριβής για την χρονική περίοδο 07/2018 - 07/2023.
Πηγή: Google Analytics.
ΞΕΦΥΛΛΙΣΜΑΤΑ
Αφορά στο άνοιγμα του online αναγνώστη για την χρονική περίοδο 07/2018 - 07/2023.
Πηγή: Google Analytics.
ΜΕΤΑΦΟΡΤΩΣΕΙΣ
Αφορά στο σύνολο των μεταφορτώσων του αρχείου της διδακτορικής διατριβής.
Πηγή: Εθνικό Αρχείο Διδακτορικών Διατριβών.
ΧΡΗΣΤΕΣ
Αφορά στους συνδεδεμένους στο σύστημα χρήστες οι οποίοι έχουν αλληλεπιδράσει με τη διδακτορική διατριβή. Ως επί το πλείστον, αφορά τις μεταφορτώσεις.
Πηγή: Εθνικό Αρχείο Διδακτορικών Διατριβών.
Σχετικές εγγραφές (με βάση τις επισκέψεις των χρηστών)